Ressourcen optimal einsetzen

Feuchtigkeitsmessung

Prozesse steuern

Flächenwiderstandsmessung

Messung dünnster Schichten

Gase richtig dosieren

Messung der R/T Charakteristika beschichteter Substrate

Dünnschichtanalyse

Infrarot-Multi-Gassensoren basieren auf dem Prinzip der nicht dispersiven Infrarot-Spektroskopie (NDIR). Abhängig von der Art des zu analysierenden Gases benutzt der Multi Gassensor Licht mit einer spezifischen Wellenlänge im Infrarot-Bereich, um die Probe anzustrahlen. Die Absorption des Lichtes beim Durchqueren der Probenkammer wird gemessen und gibt Aufschluss über die Konzentration des Gases in der Probenkammer. Da hierbei keine chemische Reaktion erfolgt sind unsere Multi-Gassensoren langlebig und langzeitstabil.

Durch die Messung von bis zu 3 Gasen in einem Sensor können sonst übliche Querempfindlichkeiten nicht nur über geschickte Auswahl der IR-Wellenlängen, sondern zusätzlich durch die algorithmische Einbeziehung aller Messkanäle weitgehend reduziert werden. CO Kohlenstoffmonoxid, CO2 Kohlenstoffdioxid, CH4 Methan, C2H2 Ethin, C2H4 Ethen oder C2H6 Ethan können bereits detektiert werden.

Abhängig von den Anforderungen können 3 Gase frei kombiniert werden. Die erzielbaren Messgenauigkeiten hängen von der jeweiligen Gaskombination und den Messbereichen ab und können für die jeweilige Anwendung durch eine entsprechende Kalibrierung optimiert werden.

 

Auszug: Nachweisbare Gase, weitere auf Anfrage

 

Messbereichsendwert

Detektionsgrenze

CO Kohlenstoffmonoxid

500…5000 ppm

1…10 ppm

CO2 Kohlenstoffdioxid

500 …10000 ppm

1…10 ppm

CH4 Methan

1000…20000 ppm

5…25 ppm

C2H2 Ethin

500…5000 ppm

2…10 ppm

C2H4 Ethen

500…5000 ppm

2…10 ppm

C2H6 Ethan

500…5000 ppm

2…10 ppm

Andere Gase

Auf Anfrage

 

 

Allgemein

Arbeitstemperatur

0-50°C, kleinere Temperaturbereiche erhöhen die Genauigkeit

Abmessungen

150 mm x 150 mm x 100 mm

Gewicht

2 kg

IR-Multi-Gassensor NDIR Modul