Ressourcen optimal einsetzen

Feuchtigkeitsmessung

Prozesse steuern

Flächenwiderstandsmessung

Messung dünnster Schichten

Gase richtig dosieren

Messung der R/T Charakteristika beschichteter Substrate

Dünnschichtanalyse

Bei der Dünnschichtanalyse messen wir breitbandige Reflektions- und/oder Transmissionseigenschaften um verschiedenste Probeneigenschaften wie Schichtdicke (10nm – 50µm), Feuchtigkeitsgehalt, Flächenwiderstand, Farbe und Brechungsindex zu bestimmen. Das TFA Gerät wurde speziell für Inline- und Prozesskontrollanwendungen, auch im Vakuum und für Produktionsumgebungen, entwickelt.

Da unsere TFAs für Laboranwendungen genauso konzipiert sind wie die Lösungen für Prozesskontrolle, ist ein Umzug vom Labor (lab) an die Linie (line) problemlos möglich.